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真空元件：擋油帽的概述

2014-04-27 06:33:00 閱讀()

　　安裝在擴散泵入口第一級噴嘴上面的擋油帽，是用來降低擴散泵油的返流的，其結構示意圖如圖7-4所示。擋油帽的尺寸越大，擋油的效果就越好。但尺寸過大，會使泵的抽速顯著降低。一般加上擋油帽后，以泵的抽速降低小于20%為宜。水冷擋油帽比不加水冷的擋油效果要好，但通水冷卻結構較復雜。此外，擋油帽向下伸出長度越大，擋油效果越好。通常擋油帽邊緣與射流方向相切，這樣既不擋蒸氣主流，又可以擋住向高真空端的返流的蒸氣。擋油帽伸出長度H可由下式計算：

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