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真空元件：擋板設計原則

2014-04-27 06:18:00 閱讀()

　　①至少要有～次光學屏蔽，即至少要擋住一次束流。
　　
　　②盡可能有大的流導值。
　　
　　③容易加工。擋板各部分溫差小，制冷劑耗量少。
　　
　　④超高真空用的擋板應能承受高溫烘烤。
　　
　　擴大擋板的直徑，可以降低擋板對泵的有效抽速的影響。擴大的擋板傳輸概率如圖7-7所示。

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