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真空元件:直筒式水冷擋板概述

  本標準適用于直筒式高真空雙層百葉窗、光學密封水冷擋板(以下簡稱擋板)。
  
  ①技術性能應符合表7-91規定。
  
  ②外形和連接尺寸如表7-92所示。

真空元件:直筒式水冷擋板概述
真空元件:直筒式水冷擋板概述
  
  ③擋板的性能試驗方法:
  
  a.擋板的漏氣速率用加壓檢漏法或氦質譜檢漏法檢驗。加壓檢漏法的充氣壓力不小于0.3MPa—0.4MPa。
  
  b.擋板流導的檢驗。按JB/T 8472.1-96《蒸氣流真空抽氣速率(體積流率)測量方法》,測試裝擋板前油擴散泵的抽速。將擋板裝入油擴散泵進氣口與測試罩之間,按JB/T 8472.1規定的測量方法,測試裝擋板后系統的抽速。測試時應同時按規定要求向擋板和油擴散泵通水冷卻。根據測得的裝擋板前、后的抽速,按下式計算出擋板的流導能力
真空元件:直筒式水冷擋板概述

標簽: 真空元件直筒式水冷擋板  

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