低真空抽氣機組的主要特點是工作壓力高、排氣量大，但抽速比高真空機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大、工作壓力又高的真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等裝置中。低真空抽氣機組的主泵常用往復式真空泵、油封真空泵、水蒸氣噴射泵、水環泵，分子篩吸附泵、油蒸汽噴射泵、羅茨泵等。除油蒸汽噴射泵，羅茨泵不能直接排于大氣外，其余各種泵均能直接排于大氣。各類泵的工作壓力范圍見表9-2。使用低真空抽氣機組，還需要根據被抽氣體清潔程度、濕度或其它特殊要求，配置必要的除塵器、干燥罐等部件。

　　
　　往復泵、油封機械泵不適于抽含有灰塵的氣體。灰塵能污染油并且磨損泵腔內表面產生漏氣，使極限真空下降。防止灰塵的辦法是裝置除塵器。在真空冶金爐上常用的除塵器配置
　　
　　方法如圖9-21所示。圖9-21(a)所示方案適用于始終都需要保護機械泵的真空裝置中;圖9—21(b)所示方案適用于在冶煉過程中某一階段要求對真空泵進行保護的情況;圖9-2l(c)所示方案適用于連續、半連續生產的真空裝置中。

　　
　　除塵器能保護機械泵，但嚴重地降低了泵的有效抽速，增加了設備投資，給維修運轉帶來不便。
　　
　　除塵器有兩種常用結構，即精除塵器(油霧、油膜除塵器)和粗除塵器(旋風除塵器、金屬網除塵器)。