工作于分子流狀態(tài)下的高真空抽氣機(jī)組與低真空機(jī)組相比，特別是工作壓力較低(10^-2Pa—l0^-4Pa)、排氣量小、抽速大。機(jī)組的主泵通常為擴(kuò)散泵、擴(kuò)散增壓泵、分子泵、鈦泵、低溫冷凝泵等。這些泵不能直接對(duì)大氣工作，因此需要配置預(yù)抽泵或前級(jí)維持泵。有些擴(kuò)散泵高真空抽氣機(jī)組還配有前級(jí)貯氣罐，以防止氣壓波動(dòng)，改善機(jī)組性能。
　　
　　預(yù)抽泵(粗抽泵)主要用來(lái)抽除真空室中的大量氣體，使真空室氣壓由1×10^5Pa降到主泵能夠啟動(dòng)工作時(shí)的真空度，因此，要求預(yù)抽泵所達(dá)到的壓力小于主泵的啟動(dòng)工作壓力，預(yù)抽泵(如用機(jī)械泵)的抽速大小由粗抽時(shí)間決定。從公式(9-11)可導(dǎo)出