油封機械泵不適于排除含有大量水蒸氣的氣體。水蒸氣在壓縮過程中會凝結咸水滴，并與泵油混合形成懸浮液，不僅會使真空度下降，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面。防止的措施有：


①使用帶有氣鎮裝置的油封機械泵，當泵溫為70℃～80℃時，可允許抽除含有水蒸氣分壓為1×103Pa—4×103Pa的氣體。

②裝油分離器、離心式分離器或油水分離器，將混有水的機械泵油進行處理，處理過的油再流入泵中使用。

③使用吸水性強的干燥劑，如五氧化二磷、三氧化二鋁、氯化鈣、分子篩等做成捕集阱吸收水蒸氣。各種干燥劑性能見表9-6。

④使用前級吸附阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，還可阻擋機械泵油向高真空室的返流。

工業上常用前兩種方法;實驗室及小型抽氣系統常用后兩種方法。