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真空鍍膜:蒸發源用金屬材料性質

2014-05-12 06:36:00  閱讀()

　　電阻式加熱方式常用蒸發源材料有鎢、鉭、鋁等。其性能見表10-4。
　　
　　表10-4蒸發源所用金屬材料的性質

真空鍍膜:蒸發源用金屬材料性質
標簽： 真空鍍膜蒸發源金屬材料  

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