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真空鍍膜：蒸發源材料

2014-05-13 13:32:49 閱讀()

　　真空鍍膜中，鍍膜機常用的蒸發源有電阻式加熱蒸發源、電子束式加熱蒸發源、空心熱陰極等離子束蒸發源、感應式加熱蒸發源。

　　表10-7給出了適于蒸發各種元素的蒸發源材料。

真空鍍膜：蒸發源材料

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