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電子工藝對真空環境的要求

  根據美國潔凈室標準,空氣潔凈度的分級是依據每0.028m^3中的塵埃粒數,那么10000級潔凈室每0.028m^3空氣中含有的0. 5um或更大的塵埃粒數少于10000顆。采用絕對過濾層流技術措施和室內套室結構,每0.028m^3塵粒數可少于100顆。
  
  (1)電子組裝件所需的潔凈室環境
  
  電子組裝件所需的潔凈室環境通用z*低標準見表15-7。
電子工藝對真空環境的要求
  
  潔凈室z*低標準,也應包括溫濕度控制。保持工作區溫度在20℃~30℃之間,相對濕度為45%—55%時,就可以避免類似的汗水和靜電污染。
  
  (2)潔凈室使用要求
電子工藝對真空環境的要求
  
  潔凈室使用要求見表15-8
  
  4.表面凈化方法

電子工藝對真空環境的要求
  
  評價清潔表面的方法見表15-9.
標簽: 真空  

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