由濺射離子泵和鈦升華泵組成的真空系統是目前獲得清潔超高真空的主要抽氣手段，能獲得低于1.3×10^-3Pa的壓力。中小型真空系統以濺射離子泵做主泵，大型真空系統以鈦升華泵做主泵。超高真空系統要求真空室內壁相當干凈，零件表面粗糙度要求高，材料放氣量要小。真空室零件要進行嚴格的清潔處理，不要用手接觸零件表面。真空室的漏率也要嚴加控制。除此以外，還要對真空室進行烘烤，烘烤溫度一般為200℃—250℃，烘烤時間為10h—12h(或者加熱到350℃-400℃，烘烤4h)。
　　
　　國產濺射離子泵啟動壓力為6.7×10^ -1Pa左右。壓力再高，啟動不了。濺射離子泵裝配后，第一次啟動比較麻煩。為了加速啟動，z*好卸下磁鐵，將泵烘烤。烘烤溫度為400℃～500℃，烘烤時間為24h～30h。使泵徹底除氣后，就容易啟動。在烘烤過程中，用預抽泵不斷抽走烘烤時放出來的氣體。濺射離子泵使用一段時間后，可能出現不易啟動或極限真空度下降的現象。若不是漏氣造成的，那就可能是泵受大氣中水蒸氣或機械泵油蒸氣作用所造成的。這時采取烘烤措施便能使泵恢復原來的性能。若污染嚴重，性能恢復不了，需將泵卸開，對泵內零部件進行徹底清洗。
　　
　　超高真空系統真空室材料多為不銹鋼，對不銹鋼的清洗極為重要。清洗是為了減少不銹鋼表面物理吸附和化學吸附的氣體。不清潔的不銹鋼表面利用二次離子譜儀和俄歇譜儀觀察，主要污染是碳和它的化合物，是有機物，因此利用各種化學溶劑除去表面有機物、碳化物是常用的方法。表15-10、表15-11比較了幾種清洗方法及不銹鋼經各種處理后的典型放氣率。