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離子束刻蝕設備的主要性能

2014-06-04 06:10:00  閱讀()

　　離子束刻蝕設備的主要性能一般包括：整機特性、離子源特性、真空系統性能、工件臺性能。控制系統特性等。表10-36給出了蘭州物理研究所生產的LSK型、DSI型、RIBE型離子束刻蝕設備主要技術性能。

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標簽： 離子束刻蝕  

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