離子束刻蝕結構特點—真空系統

2014-06-06 06:04:00 閱讀()

　　真空系統由臥式真空室、

200高真空插板閥、

200單百葉窗式水冷障板，K-200T油擴散泵、儲氣罐、三通閥、電磁帶放氣真空截止閥、2XZ-8型高速旋片式機械泵。電磁放氣閥、真空管道及真空檢測系統(ZRC-1J電阻磁放電復合真空計、電阻規、冷規)等組成。其真空系統示意圖如圖10-43(a)、(b)所示。

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