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離子束刻蝕結構特點—水冷系統

2014-06-06 06:11:00 閱讀()

　　水冷系統是用來冷卻離子源、工件臺、水冷障板、油擴散泵等部件的，一般由四個截止閥、水壓繼電器和管路組成。水壓繼電器當停水和水壓過低時能自動切斷電源，由斷水警報器及時發出音響，給予報警，以保護設備不致燒壞。

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標簽：離子束刻蝕 水冷系統

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