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離子束刻蝕:快門時(shí)間控制器

  手電兩用四桿聯(lián)動(dòng)的單葉片結(jié)構(gòu)快門用在LSK-2型、LSK-3型離子束刻蝕設(shè)備上。該快門電磁線圈由固定的30V電源驅(qū)動(dòng)。快門動(dòng)作方向由繼電器J3和J4的觸點(diǎn)進(jìn)行切換而改變。由于快門的開和關(guān)動(dòng)作要在幾秒鐘之內(nèi)完成,加上電磁線圈的安匝數(shù)大,導(dǎo)線細(xì),為不使線圈發(fā)熱,電磁鐵的供電電路設(shè)計(jì)了5s延時(shí)通電電路。在保證快門動(dòng)作完成后,將電磁線圈斷電。這個(gè)電路由BG5、J9、BG6、J6等元件組成。快門時(shí)間控制器分手控和計(jì)算機(jī)控制的束控兩種控制方式。手控時(shí)將通過琴鍵開關(guān)直接控制BG3和BG4的基極來控制快門的開和關(guān);外控(束控)將通過計(jì)算機(jī)以及由差動(dòng)式比較器BG307連接成的窗口鑒別器送出的信號(hào)電壓控制BG1和BG2的基極控制快門的開和關(guān)。
標(biāo)簽: 離子束刻蝕快門時(shí)間控制器  

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