電子束熔煉的設想于1907年提出，直到1954年才用于生產之中。其主要優點有：熔煉速度可在大范圍內調節；功率密度高且易控制；熔池表面溫度高。因而可熔煉難熔金屬，適用于任何形狀的原料（如棒、塊、屑、板等）。易于精確控制熔料的化學組分，得到一定性能要求的稀有難熔和高純金屬材料。此外，電子束對熔料的掃描還有攪拌作用，有利于合金化與去雜質。
　　
　　工業上大規模用于鉭、鋯、鉿及其合金的熔煉，用于不銹鋼的冶煉規模較小。