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輝光離子氮化工作原理
2014-07-12  閱讀

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  輝光離子氮化一般稱為離子氮化。輝光離子氮化是在真空室內在高壓(一般500V~700V)直流電場作用下進行的。氮化時把待處理的工件接在高壓直流電源的陰極,工件的外圍設置一個接高壓直流電源的陽極。當真空度達到13Pa以上時,向真空室中通入氨氣,并調節氨氣量,使真空室內壓力保持在1...