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金屬材料中不溶解稀有氣體，如氦、氖等，這對獲得極高真空是有利的。雙原子分子是在解離成原子后才溶解的，n=1/2即單位時間單位面積滲透的氣體量和壓差的平方根成比例。 滲透率K的量鋼為用
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