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圖16-20是系統不烘烤、障板和冷阱均不冷凍時、全壓力為2.5×10-4Pa時的質譜圖。本系統剩余氣體主要由四部分組成。 ①系統表面放氣。主要是水、氫、氮和一氧化碳等，其主峰分別為m/e=18、2、28。 ②機械
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