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極高真空裝置真空系統的結構及特點
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2014-09-05  閱讀

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  用液氮冷凍鈦升華阱的方法可獲得10 - lIPa的壓力,這種極高真空裝置的系統芻構示意圖,如圖16-57所示。該系統由主薯液器、極高真空室、加熱裝置、冷凍裝置及抽氣設備等組成。主容器包括內殼和外殼兩部分,均由不銹鋼制成。外殼尺寸為+900mm×1600mm,內殼尺...