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在真空裝置控制中，表征程序控制系統的性能指標是其實現控制的速度、準確性和可靠性;而對于如真空度(壓力)自動調節等自動控制系統，其具體的要求是： (1)系統的穩定性 當系統給定值(或擾動)發生變化時，被控制量將會偏離原值，由于反饋環節的作用，通過系統內部控制裝置的自動調節，系統...
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