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為實現真空裝置的程序控制、真空工藝流程的自動轉換、真空工藝參數的自動調節，通常是用一些自動控制元件、真空計、壓力控制儀和工業自動化儀表、自動控制裝置、微型計算機等組成的自動控制系統來實現。不同的真空裝置其自動控制系統不同，即使是同一類型真空裝置，因控制的技術要求不同，所采用的自動...
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