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彈性變形真空規是利用彈性元件隨氣壓變化所產生的變形來測量壓差的一種真空規。它的特點是：規管靈敏度與氣體種類無關，對被測氣體干擾小，可測腐蝕性氣體和可凝蒸氣的壓力。此類規存在的主要問題是，金屬彈性元件的蠕變現象和彈性系數的溫度效應。
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