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真空規(guī):波紋管規(guī)的概述
2014-09-22  閱讀

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  此規(guī)的波紋管一端封死,另一端與被測系統(tǒng)相連,當管中壓力變化時,波紋管內(nèi)外的壓力差產(chǎn)生變化,使得波紋管隨之伸縮,規(guī)的靈敏度與波紋管的壁厚和形狀有關(guān)。波紋管材料的彈性系數(shù)隨溫度變化而變化是此規(guī)的主要誤差源。   圖11-14是用光學方法檢測波紋管變形的波紋管規(guī),其測量下限可達10^-2Pa。