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真空規:薄膜真空規的概述
2014-09-22  閱讀

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  用金屬彈性薄膜把規管分隔成兩個小室,一側接被測系統,另一側作為參考壓力室。當壓力變化時薄膜隨之而變形,其變形量可用光學方法測量,也可轉換為電容或電感量的變化用電學方法來測量,還可用薄膜上粘附的應變規來進行測量。      近年來,電容薄膜規的發展很快,被廣泛應用于科研和工業領域。電容薄膜規分為兩種類型:一種將薄膜的一邊