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電阻真空規是皮拉尼在1906年發明的，故又稱皮拉尼規。這種規的熱絲溫度是隨壓力而變化的，由于溫度的改變導致熱絲電阻的變化，用測量電阻的變化來測量真空度。此規要求熱絲具有大的電阻溫度系數，以提高靈敏度；還要求熱絲具有良好的化學穩定性，以減少零點漂移。 表1...
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