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　　1950年B-A規(guī)的發(fā)明使測量下限擴(kuò)展到超高真空(10^-8Pa)。1958年正、反磁控規(guī)的出現(xiàn)又把測量下限延伸到10^-12 Pa，從而跨進(jìn)了極高真空領(lǐng)域。在許多高新技術(shù)領(lǐng)域，需要極高真空環(huán)境，如宇宙空間模擬、真空表面分析、超導(dǎo)技術(shù)、核聚變反應(yīng)、高能加速器、真空微電子技術(shù)和...