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致發射冷陰極彎注規由場致發射冷陰極、離子產生器、離子偏轉器及離子收集極四部分組成，結構如圖11-55所示。離子產生器主要部分是一個Pt-clad-Mo合金柵網，電子由冷陰極發射后在柵網空間振蕩并使氣體分子電離，離子偏轉器利用靜電場使離子偏轉256.4°后打在收集極上。收集極由通道倍增器組成，規管主要部件均由含氫量低的特種不銹鋼制成。
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