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極高真空規:球柵型離子譜規簡介
2014-09-30  閱讀

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  球柵型離子譜規的結構如圖11-59所示。環形燈絲發射的電子射入球形柵網內,在球心附近形成一負空間電荷,電離產生的離子也聚集在球中心附近,因此可使氣相電離離子(處于球中央負電位處)與ESD離子(柵極表面產生的離子)之間的能量差達30eV,而在一般B-A規中兩者的能量差僅為5eV~7eV。這么大的能量差更有利于分離開兩類離子。從球柵空間拉出的離子進入一個由兩個同心半球組成的偏轉系統,偏轉180&d...