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如果被測氣體是氮氣或惰性氣體(如氦、氖等)就比較簡單。但多數情況下,系統中的氣體是氮、氧、氫、一氧化碳、二氧化碳、水蒸氣、氬、氦、甲烷、汞和油蒸氣等多種氣體和蒸氣的不同組合,其中尤以氧、水蒸氣、油蒸氣等組分會給真空規帶來壞的影響,在選用真空規時必須認真考慮氣體組分對真空測量的...
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