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電子碰撞氣體分子使其電離產生離子。具有一定能量的離子(約lOOeV)打到規壁或收集極時，這些離子被束縛在固體表面或被埋入表層下面而被清除，束縛得z*牢的分子要經過300℃的烘烤才能再釋放出來。如果規管內壁存在濺射的金屬薄膜，則對氦氣也有一定的抽氣作用。 電清除抽氣速率SE的大小與電子流、各極電位、有無磁場、規壁溫度等因素有關。若電子流增加，離子流也呈線性增加，所以電清除抽...
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