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①熱解吸。熱陰極電離規的高溫陰極本身就是一種氣源，它的高溫熱量輻射到其它電極和規壁上，將引起氣體的熱解吸。此外，柵極接受電子、收集極接受離子時，也會因發熱而導致氣體的熱解吸。為了消除熱解吸對測量的影響，要預先對規各電極和規壁進行充分除氣。可以采用烘箱烘烤、電子轟擊、歐姆加熱、高頻加熱等方法來除氣。尤其是在超高
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