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1．真空和表面物理研究 對(duì)于通常的真空研究，真空分析質(zhì)譜計(jì)的主要用途是分析真空系統(tǒng)內(nèi)的殘余氣體。而對(duì)表面研究來說，目前已逐步將真空質(zhì)譜計(jì)和低能電子衍射儀、俄歇電子譜儀、二次離子質(zhì)譜計(jì)、化學(xué)分析電子譜儀和場(chǎng)致發(fā)射顯微鏡等儀器聯(lián)合使用，用來研究低壓力下的真空物理過程。通常在10 -...