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尼爾型電子碰撞式離子源由電子槍、電離室和離子光學(xué)系統(tǒng)組成(圖12-3)。電離室中的氣體分子受到熱陰極發(fā)射的電子碰撞而電離。電子由陰極和隙縫S
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