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四極質譜計分壓靈敏度測量可按下述步驟進行: ①將測試系統抽至極限壓力后,向測試系統充入氮氣,使電離計指示壓力高于極限壓力(1~2)倍; ②掃描氮分子峰.調節儀器參數,在保證分辨本領(10%)達到28~35條件下,記錄M=28u峰的離子流Il和電離計的壓力Pl; ③調節進樣,使電離計壓力再增高(1~10)倍,記錄M=28u峰的離子流I2和電離計的壓力P2; ④按公式(12 - 66)計算 ...
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