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真空系統殘余氣體分析
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2014-11-10  閱讀

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利用質譜計的模擬掃描模式(或棒掃描)在儀器的工作質量范圍內,選擇適當的參數對系統進行全譜掃描,記錄系統殘余氣體的全譜圖。一般掃描高真空系統全譜的質量范圍選擇lu~100u就夠了。小型質譜計可以選擇lu~50u。 在質譜圖上確定譜峰質量數可用兩種方法。z*簡單的方法是計算機控制的...