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四極質譜計的工作原理是由Paul等在1953年s*先提出的，而后，在1955年又介紹了按此原理研制的實際儀器。1960年文獻[289]介紹了一臺冷陰極的真空分析的四極濾質器。幾乎同時，于1963年我國研制出用于真空檢漏的四極檢漏儀，于1964年研制出四極濾質器。70年代，Holm...
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