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薄膜滲氦型標準漏孔

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2014-11-19 閱讀

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z*早使用的薄膜滲氦型標準漏孔是石英薄膜滲氦型標準漏孔，它是國外用于校準氦質譜檢漏儀靈敏度的z*通用的一種標準漏孔。帶氦室的石英薄膜滲氦漏孔(如圖13-2所示)的漏率一般為10^-2Pa·L/s～l0^-6Pa·L/s(氦室內氦氣壓力為100kPa左右)。