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質譜計比較法具體裝置如圖13-12所示。假定用一個帶氦室的已知漏率為Q1的漏孔L1來校準帶氦室的薄膜漏孔L2，校準過程如下：將氦質譜檢漏儀調到氦峰上，關閥門Sl和S2，記下輸出儀表讀數No;打開閥門S1，記下輸出儀表讀數N1;關閥門S1，打開閥門S2，記下輸出儀表讀數N2。則L2的漏率Q2為
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