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熱傳導真空規(guī)(熱阻真空規(guī)和熱偶真空規(guī))是基于低壓力下氣體熱傳導與壓力有關的性質來測量真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力的。此外，還可以利用熱傳導真空規(guī)的讀數(shù)不僅與壓力有關，而且還與氣體種類有關的性質來進行檢漏。當示漏氣體通過漏孔進入真空系統(tǒng)時，不但改變了系統(tǒng)內(nèi)的壓力，也改變了其中的氣體成分，使熱傳...