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大多數(shù)高真空系統(tǒng)上都帶有電離真空規(guī),此時(shí)也可用它來進(jìn)行檢漏。示漏物質(zhì)通過漏孔進(jìn)入系統(tǒng)后,規(guī)管離子流的變化是 式中Kt和KA分別代表規(guī)管對示漏氣體和空氣...
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