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具有冷吸附阱的真空規檢漏器
標簽: 檢漏器
2014-11-28  閱讀

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可以應用具有吸附阱的單個真空規管進行檢漏。z*早是用液態空氣冷卻的硅膠阱與冷陰極電離規配合進行的,靈敏度可到l0^-8Pa·L·s—l0^-10Pa·L·s-1。 下面介紹一下此種檢漏儀的工作原理。具體結構如圖...