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掃描方向規檢漏
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2014-12-01  閱讀

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近幾年來有人用掃描方向規進行檢漏。在真空容器中,當氣體分子自由程大于容器尺寸時,從器壁上的漏孔進入的氣流有分子束射效應,也就是在束流方向的氣體密度要比其它地方大。因此當掃描方向規的管口對準漏子L時,指示的壓力讀數就會升高,于是可找到漏孔的位置。已經做成的實驗儀器,如圖13 -17...