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用于真空殘余氣體分析的質譜計都可用來檢漏(其示漏物質可用氫、氦、氬等)，但檢漏靈敏度各不相同，見表13-14。自20世紀40年代把質譜計用于檢漏之后，檢漏技術有了長足的發展。
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