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氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、接收器、真空系統(tǒng)、電子線路及其它電氣部分組成。目前的氦質(zhì)譜檢漏儀基本上都是磁偏轉(zhuǎn)型的。現(xiàn)以1800的磁偏轉(zhuǎn)型儀器(例如HZJ-1型氦質(zhì)譜檢漏儀)為例加以說明。圖13-27是儀器的原理圖。 在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成...
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