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氦質譜檢漏儀的一個新發展是返流檢漏儀的出現,如圖13-33所示。此儀器的優點是,由于它的質譜室是處在高真空一側,被檢件則接在前級位置,因此能在較低真空度下對被檢件進行檢漏,且減少丁被檢件中的污物對質譜室的污染。這種儀器是根據油
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