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在選擇與使用氦質譜檢漏儀時，要注意工作真空Pp。極限真空pL及節流閥的抽速Sj。這些都是儀器的重要參數。 檢漏時，被檢件除了可能有漏氣外，不可避免地還會有出氣，如果不加輔助真空系統的話，被檢件的漏氣與虛漏的總氣流量Qo+y-QiE參考式(13-1》就要全部通過檢漏儀系統。為了保...
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