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高靈敏度氦質(zhì)樸檢漏儀
2014-12-11  閱讀

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上面講過的1800磁偏轉(zhuǎn)型和一級扇形磁場氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10^-6Pa. L/s~10^-10Pa·L/s。這種儀器的靈敏度主要受儀器的本底和噪聲所限制。提高靈敏度的關(guān)鍵是需要增加儀器的信號噪聲比。 1959年,彼得斯( Peters)報導(dǎo)了兩級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀的研制結(jié)果。他指出,如果只用一個分析器的話,由于工作壓力一般不是很低(多數(shù)為10^-2Pa—10^-...