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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標分述如下：5.ZhP-4A型超高靈敏度質(zhì)譜探漏儀。 ZhP-4A型超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的特點是采用了兩級串聯(lián)的磁場強度相同的90。扇形磁場分析器和兩個串聯(lián)的水冷