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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：ZLS-24型氮質譜檢漏儀。 這是一種單級的180。磁偏轉儀器，可檢測漏率范圍是10Pa.L/s～10^-10Pa.L/s，漏率可在主機上直接顯示，顯示范圍是10^-4Pa.L/s—10^ 9Pa.L/s，可在無液氮條件下工作...
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