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氦罩法也叫氦室法，這種方法是用一個檢驗罩把被檢件包起來（如圖13 - 44所示），檢漏時，先排除罩內空氣，然后充入100kPa的氦氣（或氦氣與其它氣體的混合氣），當檢漏儀輸出指示有變化時，表明處于氦罩下的被檢件有漏孔，罩子可用塑料薄膜制成；對于大批量的小零件，也可制作專用的剛性好的罩子，使所充示漏氣體的壓力高于100kPa，以提高檢漏靈敏度。
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